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专利摘要显现,本发明触及一种真空机械手驱动结构,其间一轴二轴组件包含内部设有一轴直驱电机和二轴直驱电机的一轴二轴壳体,三轴组件包含内部设有三轴直驱电机的三轴壳体,一轴二轴壳体与装置壳体滑动衔接,三轴壳体一侧与升降组件衔接,驱动轴组件包含由外到内顺次设置的一轴、二轴和三轴,其间一轴滚动设于驱动轴支撑套中且下端与一轴电机转子衔接,一轴二轴壳体下端设有二轴轴承座,二轴下端滚动设于二轴轴承座上且与二轴电机转子衔接,三轴壳体下端设有三轴轴承座,三轴下端滚动设于三轴轴承座上且与三轴电机转子衔接。本发明经过一轴二轴组件的一体化规划,既能确保安装质量,进步安装功率,又能将一轴直驱电机和二轴直驱电机的定子部分归入真空规模。
天眼查资料显现,沈阳新松半导体设备有限公司,成立于2023年,坐落沈阳市,是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。经过天眼查大数据分析,沈阳新松半导体设备有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目1次,产业线条。
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